光源: 采用GCQ350Z型超高壓水銀直流汞燈
照明范圍: ≤ф160mm
不均勻性: ф160mm內(nèi)±3%
可使用的波長(zhǎng): g線、h線、I線的組合。根據(jù)用戶要求,可增加I線濾光片
成象面照明: 光照度10~15毫瓦/厘米2,任意可調(diào)(出廠時(shí),照明度調(diào)在10mw/
品牌: 興林
發(fā)貨地: 四川成都
硬接觸曝光: 用管道真空來獲得高真空接觸。真空≤-0.05MPa
軟接觸曝光: 接觸壓力可將真空降到-0.02MPa ~ -0.05MPa之間
微力接觸曝光: 小于軟接觸。真空≥-0.02MPa
尺寸: 機(jī)體720 mm(長(zhǎng))×720 mm(寬)×882mm(高)
重量: ≤100Kg