品牌: 興林
曝光面積: ≥φ230mm
曝光不均勻性: ≤±10%
曝光強(qiáng)度: ≥5mw
曝光分辨率: ≤5μm
曝光模式: 單面曝光
掩膜版尺寸: 3″、4″、5″、6″、7″、8″、9″
基片厚度: ≤5 mm
曝光燈功率: 350W
曝光定時(shí): 0~999.9秒可調(diào)
電源: 單相AC 220V 50Hz功耗≤1kW
潔凈壓縮空氣壓力: ≥0.4Mpa
真空度: -0.07Mpa~-0.09Mpa
尺寸: 700×650×1200 (L×W×H)mm
重量: ~110kg
發(fā)貨地: 四川成都