品牌: 興林
光源: 采用GCQ350Z型超高壓水銀直流汞燈
照明范圍: ≤ф100mm
不均勻性: ф100mm內(nèi)±4%
可使用的波長(zhǎng): g線、h線、I線的組合。根據(jù)用戶要求,可增加I線濾光片
成象面照明: 光照度0~10毫瓦/厘米2,任意可調(diào)(出廠時(shí),照明度調(diào)在10mw/c
曝光分辨率: 1μm
硬接觸曝光: 用管道真空來獲得高真空接觸
軟接觸曝光: 接觸壓力可將真空降到-0.02MPa ~ -0.05MPa之間
微力接觸曝光: 小于軟接觸。真空≥-0.02MPa
主機(jī)電源: 220V±10% 50HZ
潔凈空氣: ≥0.4MPα
真空 : -0.07~-0.08MPα
發(fā)貨地: 四川成都