| 公司基本資料信息
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使用、維護和保養(yǎng)說明
1. 定期檢查：這樣做，可以使曝光機永遠處于良好的工作狀態(tài)，并達到其好的工作性能。
（1）每日任務：
a. 測量成象表面的照度，通過光欄手輪調節(jié)照度，使之達到所希望的照度。同時進行不均勻性調節(jié)。
b.檢查氣壓表：
△ 觀察進氣壓是否≥0.3Mpa
△ 將氣浮壓力調到0.1Mpa
c.檢查真空表
不“吸片”和沒有進行“真空吸版”情況下，“系統(tǒng)真空表”上的真空度≥－0.07Mpa左右，否則應檢查管路系統(tǒng)，查明漏氣原因，并想法排除。
d. 清掃承片臺上平面，無油、無塵、無硅碴等，同時清掃承片臺上安裝的橡皮密著環(huán)，使之無硅碴等。
e . 清掃版夾盤上下兩平面，特別是上平面，不得有硅碴、灰塵等，按“吸版”按鈕，吸上版，用手檢查版應牢牢吸住，觀察“系統(tǒng)真空表”，“吸版”和“解除吸版”，系統(tǒng)真空表指示值不應有明顯變化。
2. 電器部分使用維護和保養(yǎng)說明
C-25XA型掩膜曝光機電氣控制部分包括汞燈電路、曝光定時等幾部分。主要按鈕開關采用施耐德公司產品，輸出電磁閥全部采用日本SMC公司生產的電磁閥，使整機的可靠性大幅提高。
（1）總功率及電源
電氣控制部分總功率為＜1.5KW。
電源：真空泵電機單相220V，50HZ。
（2）汞燈電路
按下“汞燈電源”按鈕, 汞燈電源接通。
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臺 庫存9999臺 
