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精密光刻機(jī) 國產(chǎn)光刻機(jī) C-33型4英寸高精度對準(zhǔn)光刻機(jī)

單價: ¥210000.00    元 / 臺

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累計評價
品牌 : 興林真空
銷量 : 累計出售 0
發(fā)貨地 : 四川省-成都市-成華區(qū)
有效期至 : 長期有效
數(shù)量 : 減少 增加臺 庫存9999臺
更新 : 2022-07-13
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公司基本資料信息
 

主要用途:

主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、聲表面波器件的研

制和生產(chǎn)。

由于本機(jī)找平機(jī)構(gòu)先進(jìn),找平力小、使本機(jī)適合硅片、玻璃片、陶瓷片、銅片、不銹鋼片、寶石片等的曝光。

(1)    這是一臺雙面對準(zhǔn)單面曝光的光刻機(jī);

(2)    這臺機(jī)器又能完成普通光刻機(jī)的任何工作;

(3)    同時又是一臺檢查雙面對準(zhǔn)精度的檢查儀。

使用、維護(hù)和保養(yǎng):

1、每日檢查:這樣做,可以使曝光機(jī)長期處于良好的工作狀態(tài)。

(1)    測量成像面照度,調(diào)整光強(qiáng)到所需照度,并設(shè)定好所需時間。

(2)    清掃板架和承片臺,使之無油、無塵、無硅渣等。

(3)    注意觀察系統(tǒng)真空表所顯示的真空度,是否≤-0.07Mpa,否則應(yīng)檢查管路系統(tǒng),查明漏氣原因,并設(shè)法排除。

(4)    查看進(jìn)氣源是否≥0.4Mpa,并將氣動雙聯(lián)件輸出調(diào)到0.3Mpa 。

(5)    本機(jī)不需水源,進(jìn)電源為交流220V,使用維護(hù)簡單。