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H94-25C型（LED）4″單面光刻機 四川成都精密光刻機廠家

單價： ￥250000.00    元 / 臺

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累計評價
品牌 : svc.四川南光
銷量 : 累計出售 0 臺
發(fā)貨地 : 四川省-成都市-成華區(qū)
有效期至 : 長期有效
數(shù)量 : 減少 增加臺 庫存100臺
更新 : 2022-03-11
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公司基本資料信息
 
 主要用途：主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。
由于本機找平機構(gòu)先進，找平力小、使本機不僅適合硅片、玻璃片、陶瓷片、寶石片的曝光，而且也適合易碎片如砷化鉀、磷化銦等基片的曝光以及非圓形基片和小型基片的曝光。 
  
主要構(gòu)成：主要由高精度對準(zhǔn)工作臺、雙目分離視場CCD顯微顯示系統(tǒng)、多點光源（蠅眼）曝光頭、PLC電控系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、二級防震工作臺和附件箱等組成。主要功能特點
1.適用范圍廣
    適用于Φ100mm以下(尺寸為Φ5mm)，厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對準(zhǔn)曝光。
2.分辨率高
    采用高均勻性的多點光源（蠅眼）曝光頭，非常理想的三點式自動找平機構(gòu)和穩(wěn)定可靠的真空密著裝置，使本機的曝光分辨率大為提高。
3.套刻精度高、速度快
    采用版不動片動的下置式三層導(dǎo)軌對準(zhǔn)方式，使導(dǎo)軌自重和受力方向保持一致，自動消除間隙；承片臺升降采用無間隙滾珠直進導(dǎo)軌、氣動式Z軸升降機構(gòu)和雙簧片微分離機構(gòu)，使本機片對版在分離接觸時漂移特小，對準(zhǔn)精度高，對準(zhǔn)速度快，從而提高了版的復(fù)用率和產(chǎn)品的成品率。
4.可靠性高
    采用PLC控制器、進口電磁閥和按鈕、獨特的氣動系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和經(jīng)過精密機械制造工藝加工的零件，使本機具有非常高的可靠性且操作、維護、檢修簡便。
5.特設(shè)“碎片”處理功能 
    解決非圓形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對準(zhǔn)的問題。