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半導(dǎo)體CVD氣體質(zhì)量流量控制器 MARU 7000 PI

單價(jià)： ￥10000.00    元 / 件

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累計(jì)評(píng)價(jià)
品牌 : chinacryo
銷量 : 累計(jì)出售 0 件
發(fā)貨地 : 四川省-成都市-郫縣
有效期至 : 長(zhǎng)期有效
數(shù)量 : 減少 增加件 庫(kù)存10000件
更新 : 2021-12-13
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公司基本資料信息
 
  半導(dǎo)體CVD氣體質(zhì)量流量控制器 MARU 7000 PI

半導(dǎo)體CVD氣體質(zhì)量流量控制器 MARU 7000 PI是高性能的數(shù)字結(jié)構(gòu)控制回路可以實(shí)時(shí)控制和診斷，通過(guò)表面電解拋光處理，具有優(yōu)良的耐腐蝕性；MARU 7000 PI是壓力控制器和數(shù)字控制回路的改善算法，速度、精度、重復(fù)性等功能提高，可適用于精密控制工藝的設(shè)備（如半導(dǎo)體MOCVD，ALD等）。

 

優(yōu)勢(shì)：

三星半導(dǎo)體認(rèn)證MFC

供給壓力波動(dòng)時(shí)也可以穩(wěn)定的控制流量

模擬與數(shù)字通訊都可用（Analog,RS485，DeviceNet , EtherCAT）

流量、壓力、溫度、Mac ID，通訊功能等通過(guò)MFC本體可顯示

EP拋光，劇透的耐腐蝕性