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MARU 9000是基于壓力傳感器的質(zhì)量流量控制器（PS MFC）；通過表面電解拋光處理，具有優(yōu)良的耐腐蝕性；MARU 9000通過壓力傳感器及數(shù)字控制回路的改善算法，速度、精度、重復性等功能提高，可適用于精密控制工藝的設(shè)備（如半導體MOCVD，ALD，平板顯示CVD,PVD，光伏行業(yè)CVD等）。
優(yōu)勢：
三星，海力士半導體認證MFC
模擬與數(shù)字通訊都可用（Analog,RS485，DeviceNet , EtherCAT）
流量、壓力、溫度、Mac ID，通訊功能等通過MFC本體可顯示
超快的響應(yīng)時間（≤0.5sec ) 。
在MARU系列中精度高(≤0.5% of S.P.)。
表面電拋光處理,耐腐蝕性強。
028-96539
周一到周五 9:00-18:00
郵箱：ask@cdbaidu.com
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[VIP第5年] 指數(shù):1
