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MARU 5000質(zhì)量流量控制器是嚴格按照SEMI工藝制造,適用于各類半導體或高純氣體要求的工藝,采用數(shù)字通訊回路,便于診斷和實時控制,具有良好的抗腐蝕性功能,可以使用不同的氣體。
優(yōu)勢:
通過表面EP處理,產(chǎn)品有抗腐蝕性MARU5000:
由于User Interface底盤通訊速度及可能Mac ID設定
模擬與數(shù)字通訊都可用(Analog,RS485,DeviceNet ,EtherCAT)
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