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鴻源鼎芯批量生產(chǎn)高速單面光刻機(jī) 精密激光光刻機(jī) 品質(zhì)保證

單價(jià)： ￥250000.00    元 / 臺(tái)

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累計(jì)評(píng)價(jià)
品牌 : 鴻源鼎芯
銷量 : 累計(jì)出售 0 臺(tái)
發(fā)貨地 : 四川省-成都市-龍泉驛區(qū)
有效期至 : 長(zhǎng)期有效
數(shù)量 : 減少 增加臺(tái) 庫(kù)存10000臺(tái)
更新 : 2022-02-21
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公司基本資料信息
 
 一、 設(shè)備的主要用途及特點(diǎn)
本設(shè)備適用于對(duì)Φ100mm以下，厚為0～5mm各種基片的曝光。
由于采用了高均勻性的多點(diǎn)光源曝光頭，非常理想的三點(diǎn)找平機(jī)構(gòu)，穩(wěn)定可靠的真空壓緊曝光，使本機(jī)的曝光分辨率和曝光均勻性都大為提高。
版不動(dòng)﹑片動(dòng)的對(duì)準(zhǔn)方式，保障了導(dǎo)軌自重和受力方向的一致性，加之承片臺(tái)升降采用無(wú)間隙滾珠直進(jìn)導(dǎo)軌和三點(diǎn)式找平機(jī)構(gòu)的成功應(yīng)用，使本機(jī)漂移特小，對(duì)準(zhǔn)精度高，對(duì)準(zhǔn)速度快。
本設(shè)備的電氣控制采用PLC控制，各主要元件（如電磁閥等）均采用進(jìn)口件，設(shè)備運(yùn)行的高穩(wěn)定﹑可靠是本機(jī)的又一大優(yōu)點(diǎn)。
二、主要技術(shù)參數(shù)：
1.適用于Φ4"，Φ3"，Φ2"基片，基片厚度0～5mm均可。
2.具有相對(duì)應(yīng)的版夾盤□5"×5"  □4"×4"  □2.5"×2.5"。
3.套刻手柄：X，Y 粗調(diào)±3mm，細(xì)調(diào)±0.3m。θ粗調(diào)±15度細(xì)調(diào)±3度
4.對(duì)準(zhǔn)精度±0.5μm
5.掃描觀察±15mm
6.多點(diǎn)光源曝光頭，光的不均勻性≤±6%，使用200W直流汞燈，風(fēng)冷、光強(qiáng)可調(diào)。
7.采用雙目分離視場(chǎng)顯微鏡，放大倍數(shù)50X～375X (可采用雙CCD加顯示器來(lái)顯示，放大倍數(shù)94X～590X或67.5X～420X)。