MARU 5000質(zhì)量流量控制器是嚴格按照SEMI工藝制造，適用于各類半導(dǎo)體或高純氣體要求的工藝，采用數(shù)字通訊回路，便于診斷和實時控制，具有良好的抗腐蝕性功能，可以使用不同的氣體。
優(yōu)勢：
通過表面EP處理，產(chǎn)品有抗腐蝕性
由于User Interface底盤通訊速度及可能Mac ID設(shè)定
模擬與數(shù)字通訊都可用（Analog,RS485，DeviceNet ,EtherCAT）
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品名稱：ALD設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 MARU 5000
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