使用、維護(hù)和保養(yǎng)說明

1. 定期檢查：這樣做，可以使曝光機(jī)永遠(yuǎn)處于良好的工作狀態(tài)，并達(dá)到其好的工作性能。

（1）每日任務(wù)：

a.      測量成象表面的照度，通過光欄手輪調(diào)節(jié)照度，使之達(dá)到所希望的照度。同時(shí)進(jìn)行不均勻性調(diào)節(jié)。

b.檢查氣壓表：

△ 觀察進(jìn)氣壓是否≥0.3Mpa

△ 將氣浮壓力調(diào)到0.1Mpa

c.檢查真空表

不“吸片”和沒有進(jìn)行“真空吸版”情況下，“系統(tǒng)真空表”上的真空度≥－0.07Mpa左右，否則應(yīng)檢查管路系統(tǒng)，查明漏氣原因，并想法排除。

d. 清掃承片臺(tái)上平面，無油、無塵、無硅碴等，同時(shí)清掃承片臺(tái)上安裝的橡皮密著環(huán)，使之無硅碴等。

e . 清掃版夾盤上下兩平面，特別是上平面，不得有硅碴、灰塵等，按“吸版”按鈕，吸上版，用手檢查版應(yīng)牢牢吸住，觀察“系統(tǒng)真空表”，“吸版”和“解除吸版”，系統(tǒng)真空表指示值不應(yīng)有明顯變化。

2. 電器部分使用維護(hù)和保養(yǎng)說明

C-25XA型掩膜曝光機(jī)電氣控制部分包括汞燈電路、曝光定時(shí)等幾部分。主要按鈕開關(guān)采用施耐德公司產(chǎn)品，輸出電磁閥全部采用日本SMC公司生產(chǎn)的電磁閥，使整機(jī)的可靠性大幅提高。

（1）總功率及電源

電氣控制部分總功率為＜1.5KW。

電源：真空泵電機(jī)單相220V，50HZ。

（2）汞燈電路

按下“汞燈電源”按鈕, 汞燈電源接通。