安裝說明：
拆箱：
拆箱取出主機(jī)和附件箱時，不需使用無塵房間，一旦拆箱后，特別是從密封的塑料袋式小木箱取出每個單元時，應(yīng)立即放入無塵房間。
拆箱程序：
大箱拆開后，拆去塑料罩和干燥劑。
拆去主機(jī)周圍的附件箱。
拆去主機(jī)工作臺四個腳的連接件，裝上四個防塵足墊。
用人工抬臺面版，將主機(jī)移入凈化間要安裝的地方。
2. 安裝和清洗：
1.認(rèn)真清洗各承片臺和版夾盤（包括“備件” ），不用備件仍需涂上防銹油，放到備件箱內(nèi)。
2.調(diào)節(jié)工作臺下面四個螺桿足的高度，使工作臺四角高度一致。
3.安裝曝光頭（由我方派人安裝）
用戶拆換汞燈時注意：①用脫脂棉擦干凈汞燈球面，清洗和安裝汞燈時，手指不要接觸汞燈球面；②裝汞燈時，既要將上下接線片壓緊，又要注意不把汞燈扭斷！接線片如果沒有壓緊，造成汞燈“啟輝”困難，每次換汞燈后，都要進(jìn)行出射光束均勻性調(diào)節(jié)。
4.安裝顯微鏡（由我方派人安裝），注意兩個單筒顯微鏡垂直于版。
5.電源和氣源的連接
按說明書接上電源、氣源和真空源。
如果用戶光刻間內(nèi)沒有真空源，還應(yīng)配置TW-2A型真空泵，真空泵不能安裝在凈化間內(nèi)，而應(yīng)安裝在凈化間外，通過長真空管引入本機(jī)。