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其他各種純度、鋼瓶包裝均有售賣,可按照客戶的要求配置。
硅烷即硅與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級的硅氫化合物。應(yīng)用蕞多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè), 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 并且是迄今世界上唯①的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造先進(jìn)陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成為許多新技術(shù)、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和極強(qiáng)的燃燒能量,決定了它是一種高危險(xiǎn)性的氣體。
儲(chǔ)存:
1.在通風(fēng)良好、安全且不受天氣影響的地方存儲(chǔ)。鋼瓶應(yīng)直立擺放。且保持保護(hù)性閥蓋和輸出閥的密封完好。
2.存儲(chǔ)區(qū)域應(yīng)遠(yuǎn)離頻繁出入處和緊急出口。儲(chǔ)存區(qū)域內(nèi)不應(yīng)有火源,儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)所有電器必須有防爆設(shè)施。易燃物存放區(qū)應(yīng)與氧及氧化物存放區(qū)蕞少相距20ft 。
3.或者在中間放置至少5英尺高的非易燃材料作為屏障,以保證能耐火半小時(shí)。儲(chǔ)存區(qū)和使用區(qū)內(nèi)應(yīng)有“禁止吸煙和使用明火”的告示牌。4.存儲(chǔ)溫度不可高于125℉(52℃)。將空瓶與滿瓶分開存放。避免過量存儲(chǔ)和存儲(chǔ)時(shí)間過長。
5.使用先進(jìn)先出系統(tǒng)。應(yīng)考慮在儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)安裝測漏器和報(bào)警設(shè)備。
使用:
1.使用防火花工具。不要試圖對裝有硅烷的鋼瓶進(jìn)行修理、調(diào)節(jié)或其他改動(dòng)。
2.如果出現(xiàn)故障或其他操作問題,請立即與蕞近的分銷商聯(lián)系。
3.如有可能應(yīng)避免單獨(dú)一個(gè)人操作鋼瓶。所有的操作都應(yīng)這樣進(jìn)行——一旦發(fā)生泄漏,處理緊急情況的人員可以立即趕到。
4.用氫離子檢測器監(jiān)測硅烷的修理和在空氣中的擴(kuò)散,用紅外/紫外監(jiān)測器監(jiān)測火災(zāi) 。所以的監(jiān)測器都應(yīng)有內(nèi)鎖,一旦發(fā)現(xiàn)問題立即自動(dòng)切斷硅烷氣源。
5.監(jiān)測系統(tǒng)應(yīng)裝備備用或應(yīng)急電源。必須有遙控緊急開關(guān),必要時(shí)可關(guān)閉硅烷氣源。
6.硅烷系統(tǒng)中不允許使用填壓閥,只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統(tǒng)中應(yīng)安裝過流閥或過流開關(guān)。這樣可以在下游管線發(fā)生爆炸時(shí)切斷氣源。這個(gè)開關(guān)閥應(yīng)安裝得離氣源越近越好。
7.一定不要拉、滾動(dòng)或滑動(dòng)容器。用合適的手推車來移動(dòng)容器,不要試圖抓住氣瓶的蓋子來拎起它。保證氣瓶在使用的全過程中為固定狀態(tài)。
8.用一個(gè)減壓器或獨(dú)立的控制閥安全地從氣瓶內(nèi)釋放氣體。用單向閥來防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。
9.一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過的系統(tǒng)連接好,應(yīng)緩慢仔細(xì)地打開鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時(shí)有困難,需停止使用,并與供應(yīng)商聯(lián)系。
10.不可將工具(如:扳手,螺絲刀,等) 插入閥蓋內(nèi)。 否則會(huì)損壞閥門并引起泄漏。
11.使用可調(diào)節(jié)的帶扳手來打開過緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關(guān)設(shè)備接地。電器設(shè)備必須防火花和防爆。