簡述光刻機(jī)的演變和所面臨的挑戰(zhàn)

四川光刻機(jī)是諸多當(dāng)代技能高度集成的產(chǎn)物， 這些技能是：物理學(xué)，光學(xué)，化學(xué)，質(zhì)料科學(xué)，精密呆板，精密控制，工程學(xué)等等。

在過往的20幾年中，光刻機(jī)作為半導(dǎo)體制造業(yè)的緊張配置，經(jīng)歷了許多次革命。這些變革是陪伴著微處理懲罰器和DRAM特征尺寸的不停縮減產(chǎn)生的演變。 由于光刻的辨別率與曝光波長、物鏡光闌孔徑的干系為：辨別率=K1λ/NA以是光刻機(jī)的革命緊張產(chǎn)生在這樣幾個(gè)方面[2-8]：大NA非球面鏡光學(xué)體系，短波長光源，辨別率增強(qiáng)技能(低沉K1因子)，同步掃描工件臺(tái)等。

在過往的20幾年中，光刻機(jī)作為半導(dǎo)體制造業(yè)的緊張配置，經(jīng)歷了許多次革命。這些變革是陪伴著微處理懲罰器和DRAM特征尺寸的不?？s減產(chǎn)生的演變。 由于光刻的辨別率與曝光波長、物鏡光闌孔徑的干系為：辨別率=K1λ/NA以是光刻機(jī)的革命緊張產(chǎn)生在這樣幾個(gè)方面[2-8]：大NA非球面鏡光學(xué)體系，短波長光源，辨別率增強(qiáng)技能(低沉K1因子)，同步掃描工件臺(tái)等。

光刻機(jī)螺紋隔爆結(jié)構(gòu)有何規(guī)定

在環(huán)境實(shí)驗(yàn)箱維修中不經(jīng)常拆卸的部分可以使用螺紋隔爆結(jié)構(gòu). 從氫氣、乙炔一空氣混合物的爆炸試驗(yàn)結(jié)果看，螺紋隔爆結(jié)構(gòu)是的靜止隔爆結(jié)構(gòu)。例如:在礦用隔爆型移動(dòng)變電站的高、低壓接線盒中，套管與接線座、接線座與出線盒法蘭之間均為螺紋隔爆結(jié)構(gòu).

采用螺紋隔爆結(jié)構(gòu)時(shí)，必須保證同種零件間的互換性，還必須符合下列規(guī)定:

1.螺紋精度須不低于3級(jí)，螺距須不小于0.7mm;

2.螺紋的嚙合扣數(shù)、擰入深度，須符合規(guī)定;

3.螺紋結(jié)構(gòu)須有防止自行松脫的措施.