MARU 9000是基于壓力傳感器的質(zhì)量流量控制器（PS MFC）；通過表面電解拋光處理，具有優(yōu)良的耐腐蝕性；MARU 9000通過壓力傳感器及數(shù)字控制回路的改善算法，速度、精度、重復(fù)性等功能提高，可適用于精密控制工藝的設(shè)備（如半導(dǎo)體MOCVD，ALD，平板顯示CVD,PVD，光伏行業(yè)CVD等）。

優(yōu)勢(shì)：

三星，海力士半導(dǎo)體認(rèn)證MFC

模擬與數(shù)字通訊都可用（Analog,RS485，DeviceNet , EtherCAT）

流量、壓力、溫度、Mac ID，通訊功能等通過MFC本體可顯示

超快的響應(yīng)時(shí)間（≤0.5sec ) 。

在MARU系列中精度高(≤0.5% of S.P.)。

表面電拋光處理,耐腐蝕性強(qiáng)。