INFICON 被動(dòng) Bayard-Alpert 電離真空計(jì) (BAG05x) 可采用三種不同的配置:
BAG050 屬于 EB 脫氣 UHV 祼電離真空計(jì),能夠測(cè)量低至 2 × 10-11 Torr 的壓力。
BAG051 屬于電阻式脫氣 (I2R) 祼電離真空計(jì),能夠測(cè)量低至 4 × 10-10 Torr 的壓力。
BAG052 和 BAG053 屬于電阻式脫氣 (I2R) 玻璃封裝電離真空計(jì),能夠測(cè)量低至 4 × 10-10 Torr 的壓力。
特點(diǎn)
可靠且經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的測(cè)量?jī)x頭設(shè)計(jì)
可代替大多數(shù)裸熱電離真空計(jì)頭
寬范圍的發(fā)射電流(100μA 至 10 mA)
可提供單/雙氧化釔涂層銥和雙鎢絲陰極組件
脫氣:所有型號(hào)都可以使用電子轟擊 (EB) 進(jìn)行脫氣。
BAG051、BAG052 和 BAG053 也可以使用電阻脫氣 (I2R)