平行平晶是以光波干涉原理為基礎(chǔ)，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。
＊平行平晶具有高精度的平面性和平行性。
＊平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺卡規(guī)等量具測量面的平面度和兩相對測量的平行度。平行平晶共分四個系列，每個系列各分六組，每組四塊。
產(chǎn)品規(guī)格：
每組平行平晶共四塊，分四個尺寸系列組
測量范圍：組I系列：0～25mm 組II系列：25～50mm
組III系列：50～75mm 組IV系列：75～100mm
測量面上平面度偏差＜0.1μm
平面度局部偏差＞0.03μm
測量面平行度誤差：組I系列允差值：0.06μm
組II，III系列允差值：0.08μm
組IV系列允差值：0.1μm
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組號 |
0-25 |
25-50 |
50-75 |
75-100 |
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1 |
15.00,15.12 |
40.00,40.12 |
65.00,65.12 |
90.00,90.12 |
|
2 |
15.12,15.25 |
40.12,40.25 |
65.12,65.25 |
90.12,90.25 |
|
3 |
15.25,15.37 |
40.25,40.37 |
65.25,65.37 |
90.25,90.37 |
|
4 |
15.37,15.50 |
40.37,40.50 |
65.37,65.50 |
90.37,90.50 |
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5 |
15.50,15.62 |
40.50,40.62 |
65.50,65.62 |
90.50,90.62 |
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6 |
15.62,15.75 |
40.62,40.75 |
65.62,65.75 |
90.62,90.75 |
