單晶硅差壓傳感器組件采用德國 MEMS 技術(shù)制成的單晶硅傳感器芯片、單晶硅雙梁懸浮式設(shè)計,實(shí)現(xiàn)了高準(zhǔn)確度、超高過壓性能優(yōu)異的穩(wěn)定性。內(nèi)嵌智能信號處理模塊,實(shí)現(xiàn)靜壓與溫度補(bǔ)償?shù)慕Y(jié)合,可在大范圍內(nèi)的靜壓和溫度變化下提供極高的測量精度和長期穩(wěn)定性。
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品參數(shù)
詳細(xì)信息 單晶硅差壓傳感器組件采用德國 MEMS 技術(shù)制成的單晶硅傳感器芯片、單晶硅雙梁懸浮式設(shè)計,實(shí)現(xiàn)了高準(zhǔn)確度、超高過壓性能優(yōu)異的穩(wěn)定性。內(nèi)嵌智能信號處理模塊,實(shí)現(xiàn)靜壓與溫度補(bǔ)償?shù)慕Y(jié)合,可在大范圍內(nèi)的靜壓和溫度變化下提供極高的測量精度和長期穩(wěn)定性。 聯(lián)系方式
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