國泰真空射頻離子源GTRF-17和GTRF-23,主要用于IR-Cut、濾光片等精密光學(xué)鍍膜的離子束輔助沉積和離子束清洗等,是公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)全自 主研發(fā)近3年時(shí)間研發(fā)出的高端國產(chǎn)射頻離子源,屬于國內(nèi)獨(dú)*大直徑射頻離子源,打破了國外制造商長期對(duì)國產(chǎn)鍍膜行業(yè)的技術(shù)封鎖,同時(shí)也激 勵(lì)了國內(nèi)的同行制造業(yè)。高端離子源設(shè)備能促進(jìn)光電產(chǎn)業(yè)升級(jí),在國內(nèi)也是一項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)
射頻離子源